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首先要先检查真空度的范围才能够进行选择真空泵,而工艺却要求了极限的真空度是需要真空度来进行检测的,而且极限的真空度是要比普通的真空度低个百分之二十,另外由于工艺的原因,所以在真空度进行抽气体的时候会发生气体的泄露的问题,所以在进行真空抽气体的时候必须要提高和维持真空泵的抽气速率。